Naprašovanie vodivých vrstiev pre elektrónovú mikroskopiu

Rozprašovanie vodivých vrstiev je technika používaná na prípravu vzoriek pre elektrónovú mikroskopiu. Táto technika spočíva v pokrytí vzorky tenkou vrstvou kovu, ktorý má vysokú hustotu elektrónov a dobrú elektrickú vodivosť. Rozprašovanie sa vykonáva vo vákuovej komore, kde je vzorka vystavená iónovému lúču, ktorý odparí kov z terča a potom ho nanesie na povrch vzorky. Rozprašované vrstvy sa môžu líšiť v závislosti od typu kovu použitého ako terč. Najčastejšie používanými kovmi sú zlato, striebro, platina, volfrám alebo uhlík. Výber kovu závisí od požadovaných vlastností naprašovanej vrstvy, ako je hrúbka, rovnomernosť, priľnavosť, odrazivosť alebo chemická stabilita.

Zvýraznenie jemných detailov na povrchu vzorky
Zlepšenie kontrastu medzi rôznymi fázami alebo zložkami vzorky
Identifikácia chemického zloženia vzorky pomocou energetickej disperznej spektroskopie (EDS)
Zníženie artefaktov spôsobených nabíjaním vzorky